中微公司：发布用于高性能 Mini-LED 量产的 MOCVD 设备 Prismo UniMax

科技快报 6 月 17 日消息 从中微公司获悉，今日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）宣布推出为高性能 Mini LED 量产而设计的 Prismo UniMax MOCVD 设备。

中微公司表示，该设备在帮助 LED 芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。

据介绍，中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备已进入全球大多数氮化镓基蓝绿光 LED 制造商，此次推出的 Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达 4 个反应腔。Prismo UniMax 配置了多区温度补偿加热系统，具备波长均匀性、重复性和稳定性。

该设备还具有其他一些特征，如通过石墨盘晶片排布的最优化，其加工容量可以延伸到生长 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。

科技快报获悉，中微公司 Prismo UniMax MOCVD 设备已收到来自国内客户的订单。