新的突破，合肥欣奕华首台硅基OLED蒸镀机导入客户量产线

　　据悉，观宇微显示器采用无彩膜、自发光native RGB AMOLED技术，可实现高像素密度、高亮度、高对比度、高色彩饱和度与低功耗。作为国内OLED装备研发制造厂商，合肥欣奕华成功为其完成了核心工艺设备——硅基OLED蒸镀机的开发攻关。这是国内首台全自主研发面世的硅基OLED蒸镀机，是合肥欣奕华基于长期技术积累，攻克“卡脖子”技术难题，继成功研发G1(可蒸镀基板尺寸200*200mm)、G2.5(可蒸镀基板尺寸370*470mm)OLED蒸镀机及G6 H(可蒸镀基板尺寸925*1500mm)蒸镀机关键装置之后的又一重大突破，也是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。

　　蒸镀机是OLED显示器件制备环节的核心设备，蒸镀机把有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上，是推动相关技术实现产业化的最关键因素，也是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。合肥欣奕华通过借鉴OLED蒸镀机研发设计经验，依托OLED蒸镀机蒸发源设计和对位技术的二次创新，攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题。同时，对于某些特殊蒸镀材料，通过蒸镀趋势模拟，开发特定的蒸发源并制定蒸镀工艺实现其长期稳定蒸镀。

　　合肥欣奕华现拥有3万平米的蒸镀机研制洁净车间，各类先进研发设备和仪器20余台套，组建了一支国际化高端人才团队，形成了完善的蒸镀机技术研发体系。合肥欣奕华OLED事业部总经理曹景博介绍：“合肥欣奕华已形成了完善的蒸镀机相关技术研发体系，在蒸发源、真空腔体、高精密对位、封装、工艺控制等方面相关技术已达到国际先进水平。”据了解，合肥欣奕华研发的OLED蒸镀机已实现多台销售业绩，是国内研发、生产、销售走在前列的蒸镀机制造厂商。其更以创新为驱动力，紧跟市场形势，加快推进硅基蒸镀机等新设备的研发步伐。恰如观宇科技总经理陆隆鸣所说：“持续勇于创新，保持开放合作，是公司迈向永续的基础。”合肥欣奕华CEO张海涛表示：“公司完成了国内首台全自主开发的量产硅基蒸镀机交付，一方面得益于我们对蒸镀机及其关键装置开发的长期技术积累，另一面得益于客户对我们的认可和支持，是我们与客户共同创新的成果。我们非常看好元宇宙带动下硅基OLED显示技术的未来发展，愿意持续为产业的快速发展做出我们的贡献。”

　　硅基OLED显示器件以单晶硅芯片为基底，利用IC技术，像素密度可达到2000PPI以上，精细度远远高于传统显示器件，可与AR/VR等设备实现完美契合。随着市场应用的持续扩大，对硅基OLED微显示产品的关注程度日渐提升。中国电子信息产业发展研究院预计2023年硅基OLED市场规模有望达900亿美元。近来，元宇宙热度高居不下，AR/VR作为构建元宇宙的关键设备备受追捧，国内外大型互联网科技企业纷纷布局。根据国际数据公司IDC的数据，2021年第一季度中国VR产业市场规模超400亿元，同比增长52.4%，同时有行业数据显示，中国VR产业的市场规模，2023年预计将达到1051.6亿元。在利好的市场前景面前，国内相关企业近几年纷纷加大硅基OLED相关产业投资，未来将带来较大的硅基蒸镀机需求市场空间。