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荷兰ASML公司是全球EUV光刻机的唯一供应商，Intel、三星、台积电等公司都要依赖它。中国的中芯国际去年也订购了一台EUV光刻机用于研究7nm及以下的先进工艺，不过消息称ASML已经暂停对中国供应EUV光刻机，背后又是美国从中作梗。 据外媒报道，ASML去年4月份收到了中国最大的晶圆代工厂中芯国际的订单，订购了一台EUV光刻机，价值超过1.2亿欧元，差不多是10亿人民币了，预计今年底交货，2020年正式安装。 国内晶圆厂目前量产的最先进工艺还是28nm，中芯国际的14nm工艺取得了突破，但是目前还没大规模量产，还在客户导入阶段。 EUV光刻机主要用于7nm及以下的先进工艺，中芯国际订购EUV光刻机主要是研究开发，而且只有一台，并不会用于大规模生产。 即便如此，报道称ASML公司迫于美国的压力也暂停交付中芯国际这台EUV光刻机，因为他们不想让美国感到不安，毕竟ASML有多达1/5的零件来自于美国工厂，其中光刻机核心的光源系统就是美国公司供应的。 不过另一方面，ASML也不希望这件事让中国公司及客户感到不安，因为中国市场是全球半导体设备增长最快的市场，ASML公司去年有19%的销售额都是来自于中国公司，是ASML重要客户。 |
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